Тендер: выполнение составной части научно-исследовательской работы "Испытания фоторезистов и антиотражающих покрытий для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм (KrF) в виде пленки", шифр "Фотолиз-М"
21.03.2023Подробная информация о тендере № 2767414205
Предмет тендера:
выполнение составной части научно-исследовательской работы "Испытания фоторезистов и антиотражающих покрытий для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм (KrF) в виде пленки", шифр "Фотолиз-М"